| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07130860(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19940027437 |
申请日期 |
1994.01.31 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK |
发明人 |
UDO SHINJI;ISHIHARA MASAMICHI;MATSUMOTO TETSUO;HIROKI MASANORI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/82;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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