发明名称 PURE WATER WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS55162379(A) 申请公布日期 1980.12.17
申请号 JP19790069703 申请日期 1979.06.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOBAYASHI KENICHI
分类号 B08B7/00;G03F1/00;G03F1/82;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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