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经营范围
发明名称
PURE WATER WASHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS55162379(A)
申请公布日期
1980.12.17
申请号
JP19790069703
申请日期
1979.06.04
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KOBAYASHI KENICHI
分类号
B08B7/00;G03F1/00;G03F1/82;H01L21/30;H01L21/304
主分类号
B08B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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