发明名称
摘要
申请公布号 JP2628211(B2) 申请公布日期 1997.07.09
申请号 JP19890134563 申请日期 1989.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;C03B19/06;C03B20/00;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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