| 发明名称 |
VERWARMBARE, UIT HALFGELEIDERMATERIAAL BESTAANDE BUIS VOOR HET DIFFUNDEREN VAN DOOPSTOFFEN IN HALFGELEIDER- LICHAMEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL165795(B) |
申请公布日期 |
1980.12.15 |
| 申请号 |
NL19700007490 |
申请日期 |
1970.05.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C30B31/10;C30B31/12;H01L21/22;(IPC1-7):C30B35/00;C23C11/00;C30B31/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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