发明名称 MONITORING METHOD FOR FLOW RATE OF GAS
摘要
申请公布号 JPS55160812(A) 申请公布日期 1980.12.15
申请号 JP19790068961 申请日期 1979.06.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUSHITA OSAMI;YOSHINAGA YOUICHI;IGARASHI SHIGEMI
分类号 G01F1/00;G01F1/20 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
主权项
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