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发明名称 THICKNESS MEASURING METHOD OF DIELECTRIC FILM
摘要
申请公布号 JPS55159105(A) 申请公布日期 1980.12.11
申请号 JP19800012141 申请日期 1980.02.05
申请人 IBM 发明人 JIYOSEFU JII GOODON SEKANDO;MAIKERU AARU FUIRUPOTSUTO;JIEROOMU DEI SUUOOREN
分类号 G01B11/06;G01N21/55 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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