| 摘要 |
<p>본 고안은 감광액 도포기의 배기장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 웨이퍼의 표면에 감광액을 증착시 증착을 보조적으로 도우는 공기의 흐름이 안정적으로 유지되도록 하기 위한 배기장치에 관한 것이다. 이를 위해, 캐치컵(2)의 배기관(7)에 연결되어 상기 캐치컵(2)내의 공기를 외부로 강제 배기시키는 진공펌프(8)와, 상기 배기관(7)에 설치된 배기 밸브(10)와, 상기 캐치컵(2)의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵 내부로 안내하는 안내편(14)과, 상기 안내편(14)내에 설치되어 안내편에 안내되는 공기의 속도를 감지하는 풍속 감지센서(9)와, 상기 풍속 감지센서에 의해 감지된 풍속값에 따라 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하는 제어기(11)로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치가 제공된다. 또한, 캐치컵(2)의 배기관(7)에 연결되어 상기 캐치컵내의 공기를 외부로 강제배기시키는 진공펌프(8)와, 상기 배기관(7)에 설치된 배기 밸브(10)와, 상기 캐치컵(2)의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵(2) 내부로 안내하는 안내편(14)과, 상기 안내편내에 설치되어 안내편(14)에 안내되는 공기의 압력을 감지하는 압력 감지센서(12)와, 상기 압력 감지센서에 의해 감지된 압력값에 따라 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하는 제어기(11)로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치가 제공된다.</p> |
