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发明名称 ATOMIC BEAM INSTRUMENT
摘要
申请公布号 DE2857173(A1) 申请公布日期 1980.12.11
申请号 DE19782857173 申请日期 1978.11.02
申请人 FUJITSU LTD;TOYAMA J;KARIYA K;TAKAOKA H 发明人 TOYAMA J;KARIYA K;TAKAOKA H
分类号 H01S1/00;G04F5/14;H03L7/26;(IPC1-7):H03B3/12 主分类号 H01S1/00
代理机构 代理人
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