发明名称 SPUTTERTARGET AUF TRAEGERPLATTE
摘要
申请公布号 DE2923174(A1) 申请公布日期 1980.12.11
申请号 DE19792923174 申请日期 1979.06.08
申请人 DEMETRON GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-WERKSTOFFE MBH 发明人 PETER,DR. WOHL,HANS
分类号 B23K1/19;B23K1/20;(IPC1-7):C23C15/00;B23K31/02 主分类号 B23K1/19
代理机构 代理人
主权项
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