发明名称 PURIFICATION OF SILICON
摘要
申请公布号 GB1581418(A) 申请公布日期 1980.12.10
申请号 GB19780019261 申请日期 1978.05.12
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GES FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人
分类号 B01D11/02;C01B33/02;C01B33/037;H01L21/208;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 B01D11/02
代理机构 代理人
主权项
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