| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS55158197(A) |
申请公布日期 |
1980.12.09 |
| 申请号 |
JP19790063942 |
申请日期 |
1979.05.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI OME ELECTRONIC CO |
发明人 |
SUDOU YOSHIAKI;KASE YUUSHI |
| 分类号 |
C30B15/00;H01L21/02;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
