| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND INSPECTION METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11231023(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
| 申请号 |
JP19980032446 |
申请日期 |
1998.02.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
HORIUCHI MICHIHIRO |
| 分类号 |
G01R31/28;G11C29/00;G11C29/02;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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