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经营范围
发明名称
Scan type exposure apparatus and exposure method using the same
摘要
申请公布号
EP0740215(B1)
申请公布日期
1999.10.06
申请号
EP19960302798
申请日期
1996.04.22
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
SATO, MITSUYA
分类号
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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