发明名称 Illumination system and scan type exposure apparatus
摘要
申请公布号 EP0720056(B1) 申请公布日期 1999.10.06
申请号 EP19950309448 申请日期 1995.12.27
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 OZAWA, KUNITAKA;SAKAMOTO, EIJI;TAKAHASHI, KAZUHIRO;FUKAGAWA, YOUZOU
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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