| 发明名称 |
DUAL WAVELENGTH LASER ANNEALING OF MATERIALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2953138(A1) |
申请公布日期 |
1980.12.04 |
| 申请号 |
DE19792953138T |
申请日期 |
1979.11.15 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO INC |
发明人 |
GOLOVCHENKO J;AUSTON D;VENKATESAN T |
| 分类号 |
H01L21/26;H01L21/263;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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