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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING APPARATUS OF HEATING BOARD
摘要
申请公布号
JPS55154584(A)
申请公布日期
1980.12.02
申请号
JP19790062684
申请日期
1979.05.23
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
KUROKAWA HARUSHIGE
分类号
C23F4/00;C23F1/08
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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