发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS OF HEATING BOARD
摘要
申请公布号 JPS55154584(A) 申请公布日期 1980.12.02
申请号 JP19790062684 申请日期 1979.05.23
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KUROKAWA HARUSHIGE
分类号 C23F4/00;C23F1/08 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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