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发明名称 METHOD OF MANUFACTURE OF SILICON NITRIDE
摘要
申请公布号 PL112952(B1) 申请公布日期 1980.11.29
申请号 PL19770195843 申请日期 1977.02.04
申请人 发明人
分类号 C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/06 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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