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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING THIN FILMS,ESPECIALLY ALLOY ANISOTROPIC MAGNETIC THIN FILMS
摘要
申请公布号 PL112907(B1) 申请公布日期 1980.11.29
申请号 PL19770202960 申请日期 1977.12.13
申请人 发明人
分类号 C23C;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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