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<P>PROCEDE ET DISPOSITIF DE DEPOT PAR EVAPORATION SOUS VIDE UTILISANT UN FAISCEAU D'ELECTRONS.</P><P>SELON L'INVENTION, LE FAISCEAU EST MODULE EN INTENSITE OU EN POSITION ET UN ECRAN EST DEPLACE EN SYNCHRONISME ENTRE LA CIBLE ET LES SUBSTRATS A REVETIR. DE CETTE MANIERE, LES RAYONS X EMIS PAR LA CIBLE SONT BLOQUES PAR L'ECRAN.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES.</P>
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