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发明名称
Improved sputtering target and methods of making and using same
摘要
申请公布号
AU9304201(A)
申请公布日期
2002.04.08
申请号
AU20010093042
申请日期
2001.09.25
申请人
CARDINAL CG COMPANY
发明人
KLAUS HARTIG;JOHAN VANDERSTRAETEN
分类号
C23C4/08;C23C14/34
主分类号
C23C4/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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