MASK STRUCTURE FOR X-RAY LITHOGRAPHY

摘要

Un substrat de masque utilise dans un systeme lithographique a rayons X comprend un organe en nitrure de bore (32, Fig. 2) revetu d'une couche de polyimide (20) dont l'epaisseur est approximativement la meme que celle de l'organe en nitrure de bore. Le substrat est mecaniquement resistant et transparent optiquement ainsi qu'aux rayons X. Des configurations de masques formees sur le substrat se caracterisent par une faible distorsion et une faible densite de defauts.