| 摘要 |
<p>L'invention se rapporte aux dispositifs pour le dépôt de films minces sur des solides. Elle a pour objet un dispositif comportant des moyens de formation d'une zone d'excitation HF (1 et 2) dans une enceinte allongée (4), une pompe à vide (6) dont la prise est située à une extrémité de l'enceinte, un dispositif permettant d'injecter dans l'enceinte, à proximité mais en dehors de la zone d'excitation HF, un mélange de gaz comportant au moins un composé du corps à déposer; le solide sur lequel doit être effectué le dépôt est placé dans l'enceinte; la zone de dépôt sur ce solid est limitée à une zone de l'enceinte extérieure à la zone d'excitation HF dans laquelle le mélange gazeux est en quasi-totalité décomposé par les particules énergétiques émises dans cette zone. Application, notamment, à la fabrication de collecteurs d'énergie solaire, le dépôt métallique absorbant étant effectué au moyen du dispositif suivant l'invention sur la paroi intérieure d'un tube de verre formant enceinte.</p> |
