发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR REGELUNG DES ENTLADUNGSVORGANGES IN EINER KATHODENZER- STAEUBUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 AT359798(B) 申请公布日期 1980.11.25
申请号 AT19790001911 申请日期 1979.03.14
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 THOMAS FRIEDRICH-WERNER DR.ING.;PRIESS KONRAD DIPL.ING.
分类号 C23C14/54;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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