发明名称 |
VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR REGELUNG DES ENTLADUNGSVORGANGES IN EINER KATHODENZER- STAEUBUNGSANLAGE |
摘要 |
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申请公布号 |
AT359798(B) |
申请公布日期 |
1980.11.25 |
申请号 |
AT19790001911 |
申请日期 |
1979.03.14 |
申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
THOMAS FRIEDRICH-WERNER DR.ING.;PRIESS KONRAD DIPL.ING. |
分类号 |
C23C14/54;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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