| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55149198(A) |
申请公布日期 |
1980.11.20 |
| 申请号 |
JP19790056134 |
申请日期 |
1979.05.07 |
| 申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
INOOKU TOSHIKI;SAKURAI TAKESHI |
| 分类号 |
C30B19/00;C01B31/36;C23C16/32;C30B19/12;C30B25/18;C30B29/36;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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