| 发明名称 |
PREPARATION OF POLYCRYSTAL SILICON AND WORKING BODY USED FOR SAID METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55149115(A) |
申请公布日期 |
1980.11.20 |
| 申请号 |
JP19800060799 |
申请日期 |
1980.05.09 |
| 申请人 |
GEN INSTRUMENT CORP |
发明人 |
ROORENSU HIRU;DENISU GAABISU;ROBAATO HERAA |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/021;C23C16/01;H01L21/203;H01L21/208 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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