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发明名称 PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 SU780083(A1) 申请公布日期 1980.11.15
申请号 SU19762330935 申请日期 1976.03.05
申请人 VORONEZHSKIJ POLT INSTITUT 发明人 OSIPOV ALEKSANDR N,SU;KOSILOV ALEKSANDR T,SU;KOMAROV VIKTOR G,SU;KANDYBIN VLADIMIR ,SU;IVAKIN ANATOLIJ A,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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