发明名称 PROCEDE DE REALISATION DE CIRCUITS INTEGRES A L'AIDE D'UN MASQUE MULTICOUCHE ET DISPOSITIFS OBTENUS PAR CE PROCEDE
摘要 <P>PROCEDE DE REALISATION DE CIRCUITS INTEGRES A L'AIDE D'UN MASQUE MULTICOUCHE.</P><P>LA GRAVURE DES COUCHES 46, 47, 48 DU MASQUE COMPREND UNE ATTAQUE LATERALE CONTROLEE DE LA SOUS-COUCHE 47 FAISANT APPARAITRE, EN LISIERE DE LA COUCHE AUXILIAIRE 46 DES BORDS 58, QUI CONT ELIMINES, EN PARTIE 58A, 58C AVANT FORMATION D'UNE COUCHE ISOLANTE 63, EN PARTIE 58B, 58D APRES LADITE FORMATION, APRES QUOI EN RELIQUAT 4613 D'ILOT DE MASQUE EST AUSSI ELIMINE, LES ELIMINATIONS DETERMINANT DES OUVERTURES PERMETTANT LA FORMATION DE ZONES 71, 73, 78.</P><P>CIRCUITS INTEGRES HAUTES FREQUENCES.</P>
申请公布号 FR2454698(A1) 申请公布日期 1980.11.14
申请号 FR19790010086 申请日期 1979.04.20
申请人 RADIOTECHNIQUE COMPELEC 发明人 MICHEL DE BREBISSON ET MARC TESSIER;TESSIER MARC
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;(IPC1-7):H01L21/72;H01L21/28;H01L21/31 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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