摘要 |
<P>PROCEDE DE REALISATION DE CIRCUITS INTEGRES A L'AIDE D'UN MASQUE MULTICOUCHE.</P><P>LA GRAVURE DES COUCHES 46, 47, 48 DU MASQUE COMPREND UNE ATTAQUE LATERALE CONTROLEE DE LA SOUS-COUCHE 47 FAISANT APPARAITRE, EN LISIERE DE LA COUCHE AUXILIAIRE 46 DES BORDS 58, QUI CONT ELIMINES, EN PARTIE 58A, 58C AVANT FORMATION D'UNE COUCHE ISOLANTE 63, EN PARTIE 58B, 58D APRES LADITE FORMATION, APRES QUOI EN RELIQUAT 4613 D'ILOT DE MASQUE EST AUSSI ELIMINE, LES ELIMINATIONS DETERMINANT DES OUVERTURES PERMETTANT LA FORMATION DE ZONES 71, 73, 78.</P><P>CIRCUITS INTEGRES HAUTES FREQUENCES.</P>
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