发明名称 ELEKTRONENMIKROSKOP DES ABTASTTYPS
摘要
申请公布号 DE3011625(A1) 申请公布日期 1980.10.30
申请号 DE19803011625 申请日期 1980.03.26
申请人 INTERNATIONAL PRECISION INC. 发明人 WIRD SPAETER GENANNT WERDEN
分类号 H01J37/04;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/252;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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