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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS55138892(A) 申请公布日期 1980.10.30
申请号 JP19790046476 申请日期 1979.04.16
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OOHASHI HIDEKI
分类号 C25D5/54;C25D3/00;H01L21/3205;H05K3/00 主分类号 C25D5/54
代理机构 代理人
主权项
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