制造陶瓷反应器组件之方法及由此制得之陶瓷反应器组件

摘要

本文阐述改善处理材料在陶瓷组件上的黏着力之方法。该方法包括形成未烧结陶瓷组件及纹理化未烧结陶瓷组件表面之步骤。然后烧制已纹理化之组件以硬化陶瓷材料。在该方法之另一实施例中，将涂层施加至已烧制之陶瓷组件表面以提供第二黏着层。本文亦阐述用于蚀刻或沈积反应器室中之陶瓷组件。陶瓷组件包括由陶瓷材料形成之基板且具有在基板上形成之纹理化表面以使纹理化表面之粗糙度为约100-1000 μin R#sB!a#eB!。