发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHICHTSCHALTUNG MIT FESTKOERPERSCHALTKREISEN
摘要
申请公布号 DD144697(A1) 申请公布日期 1980.10.29
申请号 DD19790214017 申请日期 1979.07.02
申请人 HAMANN,CLAUS,DD;STARKE,MANFRED,DD;KAMPFRAHT,GERIT,DD;PFEIL,GEORG,DD;HENNEBERGER,JUERGEN,DD;ROHN,GUENTER,DD;BARTUCH,HERBERT,DD 发明人 HAMANN,CLAUS,DD;STARKE,MANFRED,DD;KAMPFRAHT,GERIT,DD;PFEIL,GEORG,DD;HENNEBERGER,JUERGEN,DD;ROHN,GUENTER,DD;BARTUCH,HERBERT,DD
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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