发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPS55137523(A) 申请公布日期 1980.10.27
申请号 JP19790046197 申请日期 1979.04.16
申请人 FUJI YAKUHIN KOGYO KK 发明人 ASANO TAKATERU;TOMITA CHIAKI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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