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发明名称
摘要
申请公布号
FR2379159(B2)
申请公布日期
1980.10.24
申请号
FR19770002600
申请日期
1977.01.31
申请人
THOMSON CSF
发明人
分类号
H01J37/30;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/30;G03F1/02;G05B19/18;H01J37/10
主分类号
H01J37/30
代理机构
代理人
主权项
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