发明名称 PROCEDE POUR PREPARER UN AGENT MASQUANT RESISTANT A LA TEMPERATURE, AGENT MASQUANT OBTENU PAR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE ET APPLICATION DE CET AGENT
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE LA REALISATION D'AGENTS MASQUANTS.</P><P>POUR PREPARER UN AGENT MASQUANT RESISTANT A LA TEMPERATURE, ON AJOUTE A UN PHOTORESISTE DE LA POUDRE DE SILICE. ON UTILISE LE MELANGE AINSI OBTENU POUR REALISER UN DEPOT SELECTIF D'UNE COUCHE DE MATERIAU SUR UN SUBSTRAT. LE MELANGE DE PHOTORESISTE ET DE POUDRE DE SILICE SERT D'EPARGNE PHOTOSENSIBLE QUE L'ON ELIMINE ENSUITE PARTIELLEMENT EN L'EXPOSANT SELECTIVEMENT A LA LUMIERE ET AU MOYEN D'UN REVELATEUR PHOTOGRAPHIQUE. LES TEMPERATURES MISES EN OEUVRE POUR PRATIQUER LE DEPOT DU MATERIAU DESIRE, PAR EXEMPLE DE L'OXYDE D'ETAIN, S'ELEVANT A 500C ENVIRON (DEPOT EN PHASE VAPEUR), LE MATERIAU PHOTOSENSIBLE RISQUERAIT D'ETRE DETRUIT, S'IL NE CONTENAIT PAS DE POUDRE DE SILICE. IL FAUT ENSUITE, UNE FOIS EFFECTUE LE DEPOT DU MATERIAU DESIRE, ELEVER LA TEMPERATURE DE LA PIECE EN TRAVAIL JUSQU'A 540C ENVIRON POUR PRODUIRE LA DESTRUCTION ET, PAR LA, L'ELIMINATION DE L'EPARGNE.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE CELLULES D'AFFICHAGE ELECTRO-OPTIQUE.</P>
申请公布号 FR2452730(A1) 申请公布日期 1980.10.24
申请号 FR19790012620 申请日期 1979.05.17
申请人 EBAUCHES SA 发明人 CLAUDE GANGUILLET, JACQUES COGNARD ET YVES RUEDIN;COGNARD JACQUES;RUEDIN YVES
分类号 G03C1/00;G03F7/004;G03F7/42;H05K3/00;H05K3/14;(IPC1-7):G03C1/68;G02F1/13;G03F1/02 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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