| 发明名称 |
IMPROVED STEPPREPETION PROJECTIONNMATCHING EXPOSER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55135831(A) |
申请公布日期 |
1980.10.23 |
| 申请号 |
JP19800044027 |
申请日期 |
1980.04.03 |
| 申请人 |
OPTIMETRIX CORP |
发明人 |
EDOWAADO EICHI FUIRITSUPUSU;KAARUUHAINTSU YOHANSUMAIYAA |
| 分类号 |
G03B27/62;G03F9/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03B27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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