シーメンス炉用のガス分配器

摘要

本発明は、内部を通じて、容易に脱着可能な固定手段を用いて気密態様で相互接続される少なくとも２つのセグメントと、少なくとも１つのガス入口孔および少なくとも１つのガス出口孔とを備え、ガスを輸送できるガス分配器であって、ガス分配器が、容易に脱着可能な固定手段を用いて多結晶シリコン析出用の炉のベースプレートに取り付けることができ、ガス分配器の少なくとも１つのガス出口孔が、炉のガス入口孔と連通するように接続される、および／または、ガス分配器の少なくとも１つのガス入口孔が、炉のガス出口孔と連通するように接続される、ガス分配器に関する。