发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MICROMINIATURE CIRCUET ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS55134936(A) 申请公布日期 1980.10.21
申请号 JP19800042731 申请日期 1980.04.01
申请人 TEKTRONIX INC 发明人 RARUFU PII URURITSUCHI;DEBORA UIRIAMUZU HEUITSUTO
分类号 H01L21/768;C03C23/00;H01L21/3105;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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