发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING MICROMINIATURE CIRCUET ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS55134936(A) |
申请公布日期 |
1980.10.21 |
申请号 |
JP19800042731 |
申请日期 |
1980.04.01 |
申请人 |
TEKTRONIX INC |
发明人 |
RARUFU PII URURITSUCHI;DEBORA UIRIAMUZU HEUITSUTO |
分类号 |
H01L21/768;C03C23/00;H01L21/3105;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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