ELECTRON BEAM RESIST,申请号JP19790041790-传众专利搜索

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发明名称	ELECTRON BEAM RESIST
摘要
申请公布号	JPS55134845(A)	申请公布日期	1980.10.21
申请号	JP19790041790	申请日期	1979.04.06
申请人	VICTOR COMPANY OF JAPAN;FUJI YAKUHIN KOGYO KK;MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	ASANO TAKATERU;SATOU KIYOSHI;TSUJIMURA TSUTOMU;MATSUMOTO YOUKO;KUNIYOSHI HIDEO;KAWARASAKI YOUICHI
分类号	G03F7/20;C08F20/00;C08F22/32;C08F222/32;G03C1/72;G03C5/08;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/30	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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