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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5544356(Y2)
申请公布日期
1980.10.17
申请号
JP19770017592U
申请日期
1977.02.16
申请人
发明人
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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