发明名称 PROCEDE POUR FABRIQUER DES STRUCTURES FORMEES DE COUCHES DE LAQUE PHOTOSENSIBLE POSITIVE SANS EFFETS D'INTERFERENCES NUISIBLES
摘要 <P>PROCEDE POUR FABRIQUER DES STRUCTURES FORMEES DE COUCHES DE LAQUE PHOTOSENSIBLE POSITIVE SANS EFFETS D'INTERFERENCES NUISIBLES.</P><P>SELON CE PROCEDE, POUR REDUIRE L'EFFET DE L'INJECTION PAR COUPLAGE D'INTENSITE, VARIABLE, LORS DE L'ECLAIREMENT DE LA COUCHE DE LAQUE PHOTOSENSIBLE 5, SITUEE SUR UN SUBSTRAT4, CETTE COUCHE EST COMBINEE, AVANT L'ECLAIREMENT, A AU MOINS UNE COUCHE6, TRANSPARENTE A LA LUMIERE, D'UNE EPAISSEUR ET D'UN INDICE DE REFRACTION ADAPTES A LA LONGUEUR D'ONDE DE LA LUMIERE UTILISEE, QUI REGNE DANS LA COUCHE SUPPLEMENTAIRE LORS DE L'ECLAIREMENT.</P><P>APPLICATION NOTAMMENT AUX CIRCUITS INTEGRES.</P>
申请公布号 FR2452118(A1) 申请公布日期 1980.10.17
申请号 FR19800005899 申请日期 1980.03.17
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 G03F7/09;(IPC1-7):G02B1/10;H01L21/31 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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