| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON GROSSFLAECHIGEN, PLATTENFOERMIGEN SILIZIUMKRISTALLEN MIT KOLUMNARSTRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2914506(A1) |
申请公布日期 |
1980.10.16 |
| 申请号 |
DE19792914506 |
申请日期 |
1979.04.10 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
GRABMAIER,JOSEF,DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT. |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B21/00;C30B29/06;C30B29/64;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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