Method of making a semiconductor device including complementary transistors.

摘要

Es wird ein hinsichtlich Herstellung und Betriebseigenschaften verbesserter Aufbau von Bipolartransistoren, vorzugsweise von vertikalen PNP-Transistoren, angegeben. Als Emitter wird dabei ein Schottky-Kontakt (72) vorgesehen, der auf einem jeweils zugehörigen Basisgebiet (59) mit relativ niedriger Dotierungskonzentration in Form einer Metallbelegung aufgebracht wird. Damit lassen sich vorteilhaft, z.B. in einem konventionellen NPN-Bipolarprozeß, komplementäre Bipolartransistoren (25, 27) mit hoher Pakkungsdichte und insbesondere verbesserten Eigenschaften der PNP-Transistoren (25) aufbauen.