| 发明名称 |
SINGLE CRYSTAL PREPARING METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55130895(A) |
申请公布日期 |
1980.10.11 |
| 申请号 |
JP19790035483 |
申请日期 |
1979.03.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AOSHIMA TAKAAKI;KASE YUUSHI;SUGITA YOSHIMITSU |
| 分类号 |
C30B15/26;C30B15/20;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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