发明名称
摘要
申请公布号 FR2334205(B1) 申请公布日期 1980.10.10
申请号 FR19760036575 申请日期 1976.12.03
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/283;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/331;H01L21/8222;(IPC1-7):H01L21/94 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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