| 发明名称 |
CLOCHE EN VERRE QUARTZEUX POUR LA TECHNOLOGIE DES SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
<P>CLOCHE POUR EPITAXIE EN VERRE QUARTZEUX.</P><P>UNE PARTIE TUBULAIRE 6 A COLLET BATTU ET PAROI EPAISSE EST DISPOSEE SUR LE COTE DE SORTIE DU GAZ DE PROCESSUS. L'EPAISSEUR DE PAROI DE LA PARTIE RETRECIE 3 DE LA CLOCHE AUGMENTE EN DIRECTION DE LA BRIDE EN VERRE QUARTZEUX.</P>
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| 申请公布号 |
FR2450884(A1) |
申请公布日期 |
1980.10.03 |
| 申请号 |
FR19800004231 |
申请日期 |
1980.02.26 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZSCHMELZE GMBH |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B25/08;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):C30B25/08;C30B23/02 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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