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发明名称 ELEKTRONENROHR FUER EIN RICHTSTRAHL- ELEKTRONENSTRAHLBEGRENZUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号 DE3011979(A1) 申请公布日期 1980.10.02
申请号 DE19803011979 申请日期 1980.03.27
申请人 VLSI TECHNOLOGY RESEARCH ASSOCIATION 发明人 NAKASUJI,MAMORU;WADA,HIROTSUGU
分类号 H01J1/16;H01J37/06;(IPC1-7):H01J29/04 主分类号 H01J1/16
代理机构 代理人
主权项
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