发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55127063(A) 申请公布日期 1980.10.01
申请号 JP19790034414 申请日期 1979.03.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 INABA KEIZOU;YANAGI YOSHIKAZU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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