| 摘要 |
Es wird eine elektronische Dünnschichtschaltung mit einer aus einem Isoliermaterial bestehenden Substratplatte (1) vorgeschlagen. Die Substratplatte (1) wird von einer ventilmetallhaltigen Schicht (2) teilweise bedeckt. Diese Schicht (2) bildet ein erstes, ein zweites und ein drittes Muster (M1, M2, M3). Durch das erste Muster (M1) werden Leiterbahnen und/oder Anschlußkontakte, durch das zweite Muster (M2) temperaturunabhängige Widerstände und durch das dritte Muster (M3) temperaturabhängige Widerstände (Sensoren) definiert. Im Bereich des ersten (M1) und des dritten (M3) Musters ist auf der ventilmetallhaltigen Schicht (2) eine Grenzschicht (4) und auf der Grenzschicht (4) eine Nickelschicht (5) angeordnet, wobei die Grenzschicht (4) Ventilmetall, Ventilmetalloxid, Nickel, Nickeloxid und Mischphasen dieser Bestandteile enthält und die Nickelschicht (5) im Bereich des dritten Musters (M3) die temperaturabhängigen Widerstände (Sensoren) bildet. Im Bereich des ersten Musters (M1) kann mindestens auf Teile der Nickelschicht (5) eine metallische Verstärkungsschicht aufgebracht sein, die aus einer Weichlotschicht (6) und/oder aus einer galvanisch aufgebrachten Schicht bestehen kann. Im Bereich des zweiten Musters (M2) bildet die ventilmetallhaltige Schicht (2) die temperaturunabhängigen Widerstände. Auf diese Schicht (2) kann im Bereich dieses zweiten Musters (M2) eine Ventilmetalloxidschicht (9) durch anodische Oxidation aufgebracht sein. Anstelle dieser Schicht (9) kann auf die ventilmetallhaltige Schicht (2) im Bereich des zweiten Musters (M2) auch eine Schutzschicht aufgebracht sein, die aus dem in einem selektiven Nickel-Ätzmittel nicht löslichen Teil (30) der ursprünglich auch dort aufgebrachten Grenzschicht (4) besteht. |
