Method for measurement and regulation of the concentration of copper, formaldehyde and sodiumhydroxide in an electroless copper deposition bath and sampling apparatus for use in this method.

摘要

Badführungsgerät für ein Bad (1) zum stromlosen Abscheiden von Kupfer, bei dem außer einem Kupfersalz noch mindestens Formaldehyd und Natronlauge als weitere Komponenten verwendet sind. Die Konzentrationen der einzelnen Komponenten sollen auf konstante Werte geregelt werden. Dies erfolgt dadurch, daß für jede der genannten Komponenten diskontinuierlich eine Probe entnommen (2) und diese mit einer bestimmten Menge Wasser verdünnt wird, sodann unabhängig voneinander die Kupferionen-Konzentration (CCu) durch Kolorimetrie (6-12), die Natronlaugen-Konzentration (NaOH) durch potentiometrische (16-20) und die Formaldehyd-Konzentration (CCH2O) durch amperometrische Titration (26-32) bestimmt werden.