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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01168063(A)
申请公布日期
1989.07.03
申请号
JP19870326019
申请日期
1987.12.23
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SHIMA YUKIO
分类号
H01L21/203;H01L21/205;H01L29/78
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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